概述
螺桿式無油機械真空泵又稱為干式螺桿真空泵，是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內（柱形等螺距）進行傳輸運動。兩螺桿經精細動平衡，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿，螺桿與泵體之間都有一定的間隙，泵工作時相互之間無摩擦，運轉平穩、噪音低，且工作腔無需潤滑油，因此螺桿真空泵適用于半導體、電子以及要求潔凈真空的場合，完全可以代替油封式機械泵，水封式機械泵成為新一代的主要真空獲得設備。
主要特點：
● 結構緊湊，占地面積小。
● 泵腔內無油，對真空系統無污染，提高產品質量。
● 泵腔內無油，解決油乳化及頻繁更換工作液、頻繁維護和保養等問題，節約使用成本。
● 無廢水，廢油的的排放，對環境無污染。
● 能抽除大量水蒸氣和少量粉塵的氣體。增加附件后，也能抽除易燃、易爆及放射等氣體。
● 極限真空較高，可代替大部分羅茨水環以及羅茨往復式真空機組。
● 泵腔及螺桿表面可進行鍍鎳以及PTFE涂層處理，可抽除大量水蒸氣及多種腐蝕型介質。
型號/性能/參數（Type-Performance-parameter）